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- [实用新型]衬底-CN201120512360.1有效
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梁秉文
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光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
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2011-12-09
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2012-08-22
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H01L33/20
- 本实用新型实施例提供一种具有主动面和被动面的衬底，所述主动面用于形成LED器件或集成电路器件，所述被动面具有多条预切割通道，该预切割通道用于在形成所述LED器件或集成电路器件的工艺过程中释放所述衬底上的应力在形成LED器件或集成电路器件的过程中，所述预切割通道可以将衬底上的应力释放，从而减小或消除衬底上的应力，有利于提高LED器件的良率。并且上述形成有预切割通道的衬底在LED器件或集成电路器件形成后，可以直接进行裂片，无需进行减薄、切割步骤，从而减少工艺步骤，简化工艺流程，提高LED器件的成品率、产量，降低LED器件的成本。
- 衬底
- [实用新型]衬底-CN201720388304.9有效
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唐永炳;石磊;蒋春磊
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深圳先进技术研究院
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2017-04-11
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2017-12-26
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G01L5/00
- 本实用新型实施方式公开了一种衬底，属于薄膜领域的技术方案，其核心在于所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛光面；此方案可采用光杠杆法对所述衬底的测量面进行曲率半径测量，得出R'0(镀薄膜前)和R'(镀薄膜后)，最后代入薄膜应力计算公式便可得出薄膜应力σ，此方法对薄膜的反光能力并无要求，只要保证衬底的测量面为抛光面，便可应用光杆杠法得出薄膜应力σ，解决现有技术必须薄膜实现反光才能测量薄膜应力的问题
- 衬底
- [发明专利]衬底-产品衬底-组合以及用于制造衬底-产品衬底-组合的设备和方法-CN201280073963.3有效
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埃里希·塔尔纳
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埃里希·塔尔纳
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2012-06-12
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2015-05-27
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H01L21/683
- 本发明涉及一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的方法，其中，所述衬底(2，2′)在接触时具有比所述载体衬底(此外，本发明还涉及一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的衬底(2，2′)，其中，所述衬底(2，2′)具有直径d1，该直径在背面减薄时可通过所述衬底(2，2′)的横截面的形状在其周缘轮廓(2u)上减小。另外，本发明还涉及一种相对应的设备和一种用于将具有平均直径d1的平面衬底(2)用于与具有平均直径d2的载体衬底(5)进行对准和接触以便对所述平面衬底(2)进行再加工的用法，其中，平均直径d1大于平均直径
- 衬底产品组合以及用于制造设备方法
- [发明专利]衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法-CN202111079496.2在审
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筱原智之;冈田吉文;冲田展彬;加藤洋;筱原敬
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株式会社斯库林集团
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2021-09-15
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2022-03-18
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H01L21/67
- 本发明涉及一种衬底洗净装置、衬底处理装置及衬底洗净方法。本发明的第1衬底保持部保持衬底的外周端部。第2衬底保持部在第1衬底保持部下方的位置吸附保持衬底的下表面中央区域。下表面刷在与利用第1衬底保持部保持的衬底的下表面接触的位置、与下表面刷与利用第2衬底保持部保持的衬底的下表面接触的位置之间升降。第2衬底保持部及下表面刷设置在能够在水平方向移动的可动台座上。可动台座在下表面刷与衬底的下表面外侧区域对向的位置、与下表面刷与衬底的下表面中央区域对向的位置之间移动。洗净利用第1衬底保持部保持的衬底的下表面中央区域。这时，衬底的高度位置高于处理杯的上端部。洗净利用第2衬底保持部保持的衬底的下表面外侧区域。这时，衬底的高度位置低于处理杯的上端部。
- 衬底洗净装置处理方法
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